彩色濾光片製程

彩色濾光片基本結構是由玻璃基板(Glass Substrate),黑色矩陣(Black Matrix),彩色層(Color Layer),保護層(Over Coat),ITO導電膜組成。

彩色濾光片生產歷史中曾出現印刷法、染色法、染料分散法、電著法、乾膜法等等,但目前最主流的量產方式為顏料分散法(Pigment Dispersed Method),其中顏料分散型彩色光阻(Pigment Dispersed Color ResistPDCR)為形成彩色層之原材料。

顏料分散法之彩色層形成類似半導體的黃光微影製程,首先將顏料分散型彩色光阻塗佈於已形成黑色矩陣的玻璃基板上,經軟烤(Pre-bake),曝光對準

Aligned),顯影(Developed),光阻剝離(Stripping),硬烤(Post-bake)重覆此流程三次形成R,G,B 之三色圖形 (Pattern)。

Pattern圖形是由曝光對準製程中之光罩(Photo Mask)而來,一般皆是由面板廠(Panel)指定,提供設計圖樣。Pattern上之紅、綠、藍(R,G,B)畫素(Pixel),排列方式並不一定,可為馬賽克式、直條式、三角形式、四畫素等方式排列,主要是依顯示器之用途及視訊電極(Pixel Electrode)之形狀和大小而定。

一般而言如要顯示AV 動態畫面需採用如馬賽克式之不規則設計,如較常顯示文字畫面,如Note book,則採用直條式之設計。

玻璃基板主要應用在平面顯示器上的薄膜電晶體及彩色濾光片二處,所需的基本要求有五項:成分中不能含鹼金屬氧化物,以避免鹼金屬離子經由擴散作用移動至電晶體陣列中,造成電路短路;具耐化學性,以承受高溫製程中所使用的化學藥劑;熱膨脹係數須與薄膜電晶體陣列中的矽相近;高玻璃應變點,使熱收縮較小(低),有助於在 TFT 製程中精確地對準光蝕刻圖形;低的生產成本而能產製高品質的超薄平板玻璃。

偏光板廣泛應用於L C D產業,其在L C D中之主要功能為將背光模組的光源形成偏極化(即過濾非特定方向的光,而讓特定光線通過)。此偏極化後的光線再透過液晶分子的扭轉,即可控制光線通過的多寡,藉以達到控制L C D畫面明暗之目的。

ITO導電膜Indium Tin OxideITO)純金屬薄膜AuAgPtCuAlCrPdRh,在< 10nm厚度的薄膜,均有某種程度的可見光透光度早期使用之透明電極

缺點:光的吸收度大、硬度低、穩定性差。

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